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(주)덕양에너젠 서산공장에서는 세계적으로 주목을 받고있는 Getter Type의 최신정제설비(Purifier)를 갖추어 수소, 질소, 알곤, 헬륨등의 반도체용 초고순도 99.9999%(6N) Particle 0.1μ이상의 가스를 생산하고 있습니다.
특히, 당사 서산공장에서 설치한 Purifier는 고압에서(200bar)운전하므로 정제후 Compressor를 거치지 않고 바로 Cylinder에 충전하기 때문에 Compressor에서 발생할 수 있는 불순물의 염려를 배제하였다.
또한 고순도 가스를 충전하기 위해선 Cylinder를 진공처리하는데
일반적으로는 진공도를 10-2 Torr로 유지 하나 당사에서는 Turbo vaccum pump(56000RPM)로 진공도 10-6 ~ 10-9 Torr까지 유지하므로 완벽한 처리로써 순도를 보장합니다.
생산능력으로는 각각의 가스를 1일 8시간 운전으로 140B/T씩 생산하므로 비용 최대로 낮출수 있으며, 제품으로는 99.999%(5N), 99.9996%(5.6N), 99.9999%(6N)의 등급으로 출고되고 있습니다.
▲ CO2 공장 전경
하루 액화탄산 생산능력 220톤, 드라이아이스 제조능력 70톤, 액화탄산 저장능력 1,200톤을 자랑하는 서산 액화탄산 제조설비는 삼성토탈(주) EO/EG 공장과 (주)LG석유화학에서 발생하는 원료 탄산가스를 PIPE-LINE으로 공급받아 이를 정제공정에서 정제시킨 후 산업용 액체탄산가스와 드라이아이스를 생산하며, 삼성토탈(주) 와 (주)LG석유화학에서 발생하는 탄산가스를 상업화 함으로서 대기방출의 온난화를 일으키는 탄산가스를 회수하여 수입창출 및 국가경쟁력 확보에 보탬이 되도록 하고 있습니다.
▲ RAW CO2 가스를 압축하여 액화 CO2를 생산하는 공정
▲ 액화 CO2를 압축하여 드라이아이스를 제조하는 공정
이미 덕양에너젠에서는 각종 혼합가스 및 표준가스를 제조하고 있으며 환경측정용, 석유화학공정용, 배기가스측정용, 의료장비용, 분석기교정용, 레이져가스, 전구용가스, 실험실용 등의 각종가스를 % 에서 PPM단위까지 성분별로는 10종이상의 혼합가스도 제조, 보급하고 있고 지금까지는 수입에만 의존하던 액체혼합가스를 국내에서는 최초로 제조하고 있습니다.

덕양에너젠의 혼합가스에 대한 신뢰도는 한국표준과학연구원에서 제3회에 걸쳐서 실시한 국내 표준가스 제조업체의 신뢰도향상을 위한 Workshop에서도 입증되었고 I.S.O-9002 인증획득으로 보다 철저한 품질관리로써 고객에게 만족할 수 있는 제품을 보급하고 있습니다. 이에 만족하지 않고 꾸준한 연구개발과 보다 앞선 제품생산으로 큰기업보다는 일류기업으로 전진할 것 입니다.